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NX系列EtherCAT® 从站单元
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通过构建分散模块化系统，子系统分担过程控制以外的功能控制，从而确保主控制器的资源集中用于晶片过程控制。

同时采用高速、低抖动且具有实时性的EtherCAT，确保过程控制精准重复。

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